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mks比例閥驅(qū)動器1249B華東區(qū)銷售
mks比例閥驅(qū)動器全量程壓力測量作為單個模擬輸出信號或通過可選的串行RS-485或DeviceNet?數(shù)字接口提供。取決于提供了三個可選的設(shè)定點(diǎn)繼電器，可以將它們配置為用于過程控制在整個真空范圍內(nèi)的任何壓力下分配繼電器的能力。該系列392 Micro-Ion Plus可以帶或不帶顯示屏，并且可以配置為寬各種法蘭。第二代Micro-Ion Plus具有集成的儀表組件電子存儲器包含工廠校準(zhǔn)信息。電存儲器由控制器使用模塊可為新的和替換的儀表提供工廠級的校準(zhǔn)精度，并跟蹤量規(guī)的使用信息，以便MKS服務(wù)團(tuán)隊可以快速了解您的應(yīng)用程序環(huán)境。微型Pirani Conductron提供更高的精度通過在量規(guī)范圍內(nèi)進(jìn)行更好的熱管理。
運(yùn)動控制系統(tǒng)可以根據(jù)被測器件以多種方式定制。圖1顯示了光纖對準(zhǔn)系統(tǒng)的不同配置，從簡單的單通道單側(cè)設(shè)置到更復(fù)雜的雙面多通道設(shè)置，其中包括機(jī)器視覺、點(diǎn)膠/固化以及上下料等。其他設(shè)置可能包括水平和垂直波束的輸入和輸出。每種配置都需要一組*的運(yùn)動控制產(chǎn)品，這取決于該器件所需的性能。
微離子ATM現(xiàn)在共享一個通用平臺以提高產(chǎn)品質(zhì)量通過大批量制造。
在寬廣的真空范圍內(nèi)進(jìn)行精確測量通常需要多個儀表組件，另外真空端口，相關(guān)的電氣接口和控制系統(tǒng)。 Micro-Ion Plus全范圍真空模塊將多個傳感器組合到單個規(guī)格的管中連接到高級控制電子模塊創(chuàng)建緊湊的模塊化量規(guī)設(shè)計接口要求，并降低總體成本所有權(quán)，同時增強(qiáng)真空測量性能。下一代Micro-Ion Plus結(jié)合了通過30年的真空計獲得的知識設(shè)計和現(xiàn)場安裝，以及我們廣泛的與原始設(shè)備制造商（OEM）合作終用戶客戶。 高性能，全系列緊湊的單個真空端口中的真空測量擁有成本低的設(shè)計，請選擇系列392 Micro-Ion Plus或從我們的所有MKS系列中進(jìn)行選擇壓力測量解決方案。
特點(diǎn)與優(yōu)勢：
?連續(xù)壓力測量高真空
?緊湊的多傳感器量規(guī)設(shè)計
?消除了兩個獨(dú)立的需求量規(guī)
?雙電離規(guī)燈絲增加設(shè)備正常運(yùn)行時間
?電離規(guī)激活自動化和停用
?可選的模擬，RS-485或DeviceNet介面
?RS-485和DeviceNet具有可選用于過程控制的設(shè)定點(diǎn)繼電器
?可選的法蘭配置
?現(xiàn)場可更換量規(guī)，低擁有成本
?電子量規(guī)管存儲器可確保放置的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性量規(guī)
?改進(jìn)的微型皮拉尼導(dǎo)體準(zhǔn)確性
?利用第二代產(chǎn)品Granville-Phillips真空吸塵器的30年量規(guī)設(shè)計經(jīng)驗
?由MKS服務(wù)支持計劃支持
模擬輸出
對數(shù)壓力，0.5至7.0 VDC，0.5 V /十倍
RS-485串行接口
數(shù)字通信接口2線半雙工
通信格式ASCII：無奇偶校驗，一個停止位
波特率1200、2400、4800、9600、19200（默認(rèn)），38400
地址0-63，使用地址開關(guān)和RS-485命令選擇
DeviceNet接口
消息輪詢的I / O和顯式
數(shù)據(jù)速率125、250或500 kbaud，可選開關(guān)
地址0-63，使用低和高地址開關(guān)選擇
工作溫度10°至40°C（50°至104°F），無冷凝
儲存溫度-40°至+ 70°C（-40°至+ 158°F）
烘烤溫度蕞高105°C（221°F），已拆下電子設(shè)備
電離規(guī)發(fā)射電流自動調(diào)整范圍
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自動離子規(guī)控制設(shè)置（默認(rèn)）
2x10 -2 Torr的電離規(guī)； 2.66x10 -2毫巴;壓力降低時為2.66 Pa
電離規(guī)關(guān)閉3x10 -2托，3.99X10 -2 mbar;壓力增加時為3.99 Pa
切換到高發(fā)射5X10 -6 Torr； 6.66X10 -6毫巴; 6.66X10 -4 Pa，壓力降低
切換至低輻射1x10 -5托； 1.33x10 -5毫巴; 1.33X10 -3 Pa，壓力升高
電離計脫氣電子轟擊； 3瓦1分鐘/單絲
電離規(guī)長絲鎢或釔包覆的銥
燈絲操作請參見注釋（7）交替（默認(rèn)為氧化釔），自動，手動（默認(rèn)為鎢絲）
熱損失傳感器線鍍金鎢
規(guī)格體積10.8厘米3（0.65英寸3）
LED指示燈模塊狀態(tài)
I / O連接器
RS-485 /模擬15針D-sub公頭
DeviceNet 5針微型連接器
大浪涌電流
RS-485 / Analog 2 A，48W，持續(xù)0.5秒
所需功率
RS-485 /模擬24 VDC + 10％至-15％，1 A，22W;
DeviceNet 24 VDC±15％（20.4V時1.5A），30W峰值時3.0A
可選的顯示圖形LCD
可選的設(shè)定點(diǎn)繼電器RS-485或DeviceNet：2個SPDT（NO / NC）或3個SPST（NO），每個都可以獨(dú)立設(shè)置
繼電器觸點(diǎn)額定值
30 VDC時大1 A，電阻負(fù)載
5 VDC時小5 mA，電阻負(fù)載
重量728.5克（25.7盎司）（2.75扁平接頭）
表殼材料鋁擠壓粉末涂層
真空304不銹鋼，鉭，鎢，氧化釔涂覆的銥，氧化鋁，CuAg共晶，
Kovar?，鍍金或鎳的Kovar硼硅酸鹽玻璃
機(jī)械運(yùn)動平臺由電磁電機(jī)驅(qū)動的電動平臺通常用于生產(chǎn)環(huán)境中，以實現(xiàn)對準(zhǔn)過程的自動化。通常具有亞微米量級的最小步進(jìn)和重復(fù)定位精度，而使用這些平臺可大大提高通信器件的質(zhì)量和性能。精密光纖對準(zhǔn)系統(tǒng)中常用的驅(qū)動技術(shù)包括：
帶直接讀取編碼器的直線運(yùn)動平臺——當(dāng)搭配XPS-D運(yùn)動控制器一起使用時，XMS直線運(yùn)動平臺具有1nm MIM能力的最高精度等級。XMS可以快速、輕松地搜索一個直徑10μm區(qū)域內(nèi)的最高峰值。圖4顯示了使用XMS平臺進(jìn)行五軸調(diào)整的雙側(cè)多通道配置系統(tǒng)。
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